作为汇聚全球最尖端科技的结晶,晶圆制造被誉为全球制造业的掌上明珠,其工艺之复杂、厂房环境要求之苛刻,不断推动着晶圆厂向着更高的自动化、智能化前进。面对复杂的芯片制造流程和苛刻的厂房环境要求时,晶圆厂迫切需求更高水平的自动化和智能化。因此,提升工厂空间利用率、减少机台闲置时间、提高生产效率和产品良率成为晶圆厂运营的首要问题。自动物料搬送系统(AMHS,Automatic Material Handling System)在这一背景之下成为晶圆厂制造生产中至关重要的“生命线”。
然而这一领域近90%的市场被国外企业垄断。面对日益倍增的需求,和空白的国内市场,国家政府层面对半导体领域做出了重要的远景目标与纲领规划,“十四五”是中国半导体行业夯实基础、谋取更大进步的关键五年,多个“十四五”相关政策均将集成电路列入重点发展项目。发展我们自主的AMHS系统迫在眉睫。
「尊芯智能科技」成立于2020年,是国内首家全自研半导体晶圆厂设备公司,专注于AMHS的生产、研发和销售。其自主研发全国产化生产的Phoenix-AMHS(Phoenix Automatic Material Handling System 自动物料搬送系统),Phoenix-AMHS在系统设计、迭代优化、现场施工等方面都在国内处于领先地位,能够最优地提高先进工艺晶圆厂大规模量产效率。
AMHS系统由硬件系统和软件系统构成。其硬件系统主要包括OHT、OHB、Stocker等,软件调度系统是MCS,一种物料搬送控制系统,可以控制对应的硬件设备,包括OCS(OHT CONTROL SYSTEMS)、SCS(STOCKER CONTROL SYSTEMS)、LCS(LIFTER CONTROL SYSTEMS),可以说MCS是AMHS的核心系统。
MCS系统(Material Control System),它是用于监控,控制和管理半导体生产搬运过程的关键系统之一。MCS系统监控半导体搬送及中转设备的状况,选择最佳的路径进行派送,进而减少搬运时间和提高搬运效率。目前,半导体制造包括晶圆加工,离子注入等复杂的工艺流程,这些工艺流程需要严格的监测和控制,而MCS系统可以最大限度提高自动化搬运设备和生产搬运效率,以便用来提高产品运输的及时性。
尊芯Phoenix 系列ZMCS系统更是在原有的MCS系统上具有以下优势:首先,尊芯MCS通过Dijkstra算法能够在半导体工厂复杂的布局下精准快速的锁定最短路径,并在此基础上会根据现场任务负载及设备的实时状况进行路径变更。在众多路径中寻找最佳路径,最快最稳定的完成搬送任务。它不但符合SEMI标准,促进半导体技术的快速发展,降低成本和风险,提高半导体制造的效率和质量。其次,还可以兼容多种中间件提供的通信支持,能够与不同设备或系统进行数据交换和控制指令传递,从而实现半导体制造过程的高效管理的控制,可扩展性也更强。不仅如此,我们还拥有active-active双活架构模式,它可以实现负载均衡和可用性,通过将负载分摊到多个节点上,当某个节点出现故障时,其它节点不受影响,继续工作,它提高系统的可用性和效率。最后,拥有强大的报表功能,通过丰富的报表,用图形的方式,让客户更为直观地了解数据关系和趋势。
尊芯ZMCS系统具备功能性能,生产效率,成本控制等多个方面的优势,并且满足半导体企业的需求,能适应市场的环境,在半导体企业市场上获得更为有利的竞争优势。
近些年,在团队的努力之下,我们克服了各种困难,取得了诸多的突破,半导体行业是一个需要积累和耐心的行业,尊芯智能坚信用踏实的步伐,专业的态度,集自身之所长与市场共同面对这个充满变化和挑战的环境,打造自主知识产权半导体洁净车间物流解决方案,把握住国产化的大势!