▲ EQ到OHB取放

此外，尊芯OHT还可以与尊芯自研或第三方Stocker无缝衔接，提供高效的物料存储和管理解决方案。通过智能调度和实时监控，系统能够快速响应生产需求，确保物料的及时供应和有效追踪，减少生产停滞和浪费。存储器系统还具备高度的可扩展性，能够随着生产规模的扩大灵活调整。尊芯的Lifter专为Fab厂设计，确保晶圆或物料在多层之间高效平稳运输，进一步提升了整个生产线的效率。

解决12英寸晶圆厂痛点的关键

过去在液晶面板厂、封测厂、8英寸及以下尺寸的晶圆厂中，AMHS系统天车数量通常不会超过百台，通过简单的寻路算法与局部自动化生产即可应对。随着半导体产业的发展，成熟Fab制程往往有几十条Intra Bay 以及十多条 Inter Bay传输路线。在12英寸Fab厂中，天车数量通常超过500台，有些甚至达到2000台，已基本实现全厂自动化系统的覆盖，传统算法与控制系统已难以应对如今的复杂环境。

尊芯凭借自身资深研发团队在AMHS领域积累的多年研发经验，不仅打造了灵活可靠的硬件体系，还突破AMHS软件层面难点，独家研发高性能Phoenix MCS系统。系统基于常规天车控制逻辑，创新性的在AMHS控制层与设备控制层中间加入VCU，形成MCS-OCS-VCU-天车的控制逻辑体系。OCS仅需对天车进行状态监控与异常状态的下发与处理，将路径规划和车辆状态反馈分离，赋予每台天车独立的VCU控制，降低硬件需求，缩短响应时间，为未来的智能化逻辑派生奠定了基础。

在Fab厂的搬运过程中，经常会发生传输错误，系统需要尽可能自动恢复，以减少人工修复的需求。尊芯的ZMCS系统为自动恢复（uptime 99.96%）提供了各种场景，还能与AMHS设备供应商合作，制定I/F规范，实现HSMS协议连接多达50个控制器，能处理每小时最多12000次运输任务。尊芯第三代OHT系统可控超过500台车体，达成10天24小时不间断运行且服务器无损坏的成绩，确保客户生产环境的高效稳定。

▲ 交管测试

▲ 异常测试

国际化研发团队与本土化生产服务结合

在拥有了可靠的硬件与软件后，尊芯同样高度重视对客户厂商的AMHS全厂规划。芯片制造的工艺节点有时多达上千道，每一道工艺的优先级、执行时间、前后工艺之间的连接以及每个工艺的重复次数等都需要在AMHS系统设计之初就充分考虑，以避免因对客户工艺流程理解不足而导致的问题，这也造成国内AMHS相关人才的缺乏，全球AMHS设备市场近90%的份额被国外企业占据。以尊芯为代表的国内AMHS厂商正逐步加大研发投入，在本地化运维和软硬件KNOW/HOW的国内半导体AMHS领域细分赛道上处于领先地位。

●尊芯凭借国际化的研发团队与本土化生产结合优势，拥有了超越国内其他厂商的技术实力：

●尊芯拥有一支全球AMHS龙头技术背景团队与业界标杆项目完整交付经验的研发团队；

●OHT及STK核心设备已产品化，完成了全栈软硬件系统完整布局全体系的正向研发，系统设计保证天车大规模量产可靠性；

●尊芯已切入12英寸Fab高毛利、高壁垒市场，核心产品已验证，天车进展领先；

●尊芯不仅建成了国内首条符合GIGA FAB标准的DEMO LINE项目，还成为了国内首家获得韩国三星AMHS软件订单的企业。

作为中国本土企业，尊芯能够更快响应本地市场需求，实现更短的研发周期与服务周期。此外，中国近年来大力发展半导体产业，目前已形成了完整的供应链体系，从原材料到成品方案都有了丰富的选择，因此成本也更为低廉。更重要的是，尊芯能够在国际半导体市场风云变幻的当下，确保对国内客户的稳定供应与优质服务，产品质量更高、设计更先进，相比国内企业更具竞争力，相比国际大厂价格更优、服务更佳。