适用于半导体生产工厂的无尘室,立体自动搬运流水线 用于电梯往返搬运物品的垂直搬运系统 通过与各种运输机组装成系统,大幅度地提高作业效率 |
升降机 Lifter
主要作用是将硅晶圆跨楼层传送,Lifter的优点在于它可以通过自动化方式快速、高效地执行这些任务。这有助于减少人工操作的需求,提高生产线的效率,并减少生产过程中的误差。 |
天车 OHT
自动化搬送装置,可在空中轨道上行驶,能够通过皮带传动起重机构“直接”进入装卸口。满⾜SEMI标准,与上层系统实现数据交互 使用非接触式供电,满足洁净车间内的洁净需求,洁净等级可满足ISO Class5 |